实验室超声波清洗器通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
清洗机中的等离子体与自然界产生的等离子体本质上是一样的，是区别于固体、液体和气体的另一种物质聚集态，人们称之为物质存在的第四种状态。它由电离的导电气体组成，其中包括六种典型的粒子，即电子、正离子、负离子、激发态的原子或分子、基态的原子或分子以及光子。
实验室超声波清洗器主要由以下三大部分组成：
1、控制单元。现在的清洗机主要有全自动控制、半自动控制、PC控制、液晶触摸屏控制四种控制单元，而控制单元主要由电源、控制系统、控制按钮和操作显示器等部分组成。
2、真空泵。本设备的主要动力来源就是真空泵，主要作用是将真空腔体中的空气抽干，达到真空的环境，然后再进行清洗。真空泵主要分为干泵和油泵。干泵主要以电力为动力源，而油泵则使用汽油或柴油为动力源。
3、真空腔体。真空腔体就是用于清洗对象物的空间，主要有石英腔体和不锈钢真空腔体。由于其内部采用真空灭菌防菌以及等离子清洗法，对于腔体压力的承受有着一定的要求，所以需要采用材质较好的腔体进行配置。
该设备是在清洗时通入工作气体在电磁场的作用下所激发的等离子与物体表面产生物理反应和化学反应。其中，物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面终被真空泵吸走；化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走挥发性的物质，从而达到清洗目的。
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