兆声波清洗机纳米级清洁能力：可稳定去除0.1μm（100nm）以下亚微米/纳米颗粒，传统超声做不到。
声流主导、剪切力强：在表面形成极薄声学边界层，强力剥离微颗粒，深孔/高深宽比结构也能洗干净。

1、  兆声波清洗机核心物理与清洗优势

 - 频率高、波长极短（通常800kHz–3MHz），空化气泡极小、极多、极均匀，能量温和不冲击。

- 低损清洗：几乎无强空化冲击，零划伤、零损伤，保护超薄晶圆、低‑k介质、微凸点、TSV等脆弱结构 。

- 纳米级清洁能力：可稳定去除0.1μm（100nm）以下亚微米/纳米颗粒，传统超声做不到。

- 声流主导、剪切力强：在表面形成极薄声学边界层，强力剥离微颗粒，深孔/高深宽比结构也能洗干净。

- 均匀性佳：声场分布均匀，无热点，整槽/整片晶圆清洗一致性好，良率高。

- 效率高：清洗时间缩短，产能提升。

2、兆声波清洗机主要功能特点和技术参数：

1.新款它激式线路，频率自动跟踪，工作稳定可靠，较以前的自激式震荡线路结构在输出功率增加15%以上。

2.采用进口日本本多陶瓷片组装换能器，电声转换率高达98%以上。

*3采用IGBT大功率模块控制，输出功率强，使超声波使用寿命大幅提高，并有效保护换能器正常工作。超声波发生器有频率微调的功能，调整范围1%，换能效率达到最大，在不同工况下都能达到最佳效果

4.采用高品质钣金技术及新式粘合技术和电路结构的优化，使设备的噪音比常规超声音量低26个分贝左右。

5. 超声频率：2.4MHz，自适应（也可根据需求选定其它频率）

6. 超声标称功率：500W，功率可调，步进10%，也可细化至步进1%

7. 时间可调：0-999min

8.加热功率：500W，温度可调：室温-80 ℃

9.清洗内槽尺寸：400×250×150（mm），容量：15升，外型尺寸：540*500*400(mm)水槽采用316L优质不锈钢，厚度1.5mm,无缝焊接。水槽主体材质采用316型不锈钢板，厚度1.5mm,水槽无缝焊接，采用满焊工艺表面光滑洁净，没有卫生死角，连接管道也需采用316卫生级不锈钢管及配件，连接采用活接方式。

10.采用7 寸高清液晶显示屏触控操作，PLC控制有50组以上的清洗程序设定，屏幕实时显示时间、温度、功率、运行状态倒计时显示；

11.仪器具有超电流、超电压、超温报警功能，自动进水自动排水。